日本SAMCO薩姆肯PC-1100等離子清洗機Plasma cleaner性能特征

最大加工尺寸為400mm x 400mm 靈活的架式電極可以在RIE或等離子體蝕刻模式下處理各種樣品。工藝室可配置多個大型加工架，以滿足大批量生產(chǎn)的要求。全自動 "一鍵式 "操作，可完全手動操作。帶觸摸屏的PLC控制器提供直觀的圖形界面 干式泵和系統(tǒng)布局便于維護?？煽俊⒛陀玫南到y(tǒng)，全球安裝了150多個系統(tǒng)。