全國統(tǒng)一電話
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硅片拋光液工藝應用參數(shù)
| 型號 | ecosil?WP100 | ecosil?WP200 | ecosil?WP300 | ecosil?WP500 |
| 固含量（%） | 15 ~18 | 14~16 | 19~22 | 19~22 |
| 顆粒尺寸（nm） | 70.0 ± 10.0 | 20.0 ± 5.0 | 80.0 ± 10.0 | 100.0 ± 20.0 |
| 粘度（20℃） | < 5 | < 5 | < 5 | < 5 |
| 比重（20℃） | 1.10 ± 0.02 | 1.08 ± 0.02 | 1.12 ± 0.02 | 1.12 ± 0.02 |
| pH ( 20℃) | 11.3 ± 5.0 | 11.3 ± 5.0 | 11.3 ± 5.0 | 11.3 ± 5.0 |
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